旋转干燥机转台位置确认装置及方法

摘要

本发明公开了一种旋转干燥机转台位置确认装置，通过增加硅片取入位置传感器和硅片取出位置传感器，判定旋转干燥机转台位置是否准确。本发明还公开了一种旋转干燥机转台位置确认方法，使用简单的继电器结构组建逻辑电路对设备内部信号进行逻辑判断，实现旋转干燥机转台硅片取入和取出位置确认，当转台位置反转时利用PLC已有程序停止转台工作并报警。

主权项

1、一种旋转干燥机转台位置确认装置，用于判定旋转干燥机转台位置是否准确，包括：机械臂抓手合拢传感器，用于检测机械臂抓手合拢感应信号；机械臂抓手打开传感器，用于检测机械臂抓手打开感应信号；转台固定汽缸顶出传感器，用于固定转台的汽缸完全顶出后向PLC控制模块发出反馈信号；其特征在于，所述旋转干燥机转台位置确认装置还包括：硅片取入位置传感器，设置于旋转干燥机转台初始位置时转台底盘圆孔对应的位置，用于检测取入硅片时位置确认信号；硅片取出位置传感器，其与所述硅片取入位置传感器以转台底盘中心对称设置，用于检测取出硅片时位置确认信号；逻辑运算模块，用于将所述机械臂抓手合拢传感器、机械臂抓手打开传感器、转台固定汽缸顶出传感器、硅片取入位置传感器及硅片取出位置传感器的感应信号经过逻辑运算产生转台位置确认信号，接入PLC控制模块及PLC控制模块，用于根据转台停止时是否接收到转台位置确认信号判断旋转干燥机转台位置是否反转。