容器搬送装置及容器搬送系统

摘要

本发明提供一种能按照处理装置的处理速度或配置结构等，恰当地搬送容器的容器搬送装置和容器搬送系统。本发明的容器搬送系统具有多个搬送内部收纳基板的容器的容器搬送装置，该容器搬送装置由具有使保持的所述容器升降动作的升降机构和直线移动机构的搬送机械手、载置至少一个容器的载置台构成。

主权项

1.一种容器搬送系统，其在规定的交接位置和基板处理装置之间搬送内部收纳基板的容器，其特征在于：以容器搬送装置作为一个构成单位，所述容器搬送装置包括：能载置一个以上所述容器的载置台；搬送机械手，其具有沿垂直方向升降的升降机构、沿水平的一个方向往复移动的直线移动机构以及能够在上升到在所述载置台上可叠置2个以上所述容器的高度后旋转的旋转动作机构，所述直线移动机构具有保持所述容器并在垂直面内转动的臂体，通过使所述臂体转动来使所述容器前后移动，所述容器搬送装置在纵方向或横方向上邻接排列多个，所述搬送机械手分别能够将所述容器至少搬送到邻接的所述容器搬送装置的所述载置台，通过使所述多个容器搬送装置同步，在邻接的所述容器搬送装置间依次搬送所述容器，由此能够在所述交接位置和所述基板处理装置之间搬送所述容器。