压阻应变集中器

摘要

提供一种将机械移动转换为电输出的压阻应变集中器和用于生产该集中器的过程。该装置包括应变检测结构，该结构具有跨过基板中的间隙的压阻应变元件。该应变检测结构支承在同样跨过该间隙的应变集中结构上，该间隙具有延伸至间隙基部处的横截面的垂直壁，两个结构都由基板蚀刻而成。用于应变感应元件的应变集中支承结构通过深活性离子蚀刻(DRIE)制造。与先前的应变计量结构相比，该应变检测结构具有增强的敏感度、低计量因数并且更加能抵抗起皱和破碎。多个应变检测结构可在电桥电路中顺序连接。

主权项

1、一种用于检测机械输入并且将至少两个相对可移动部件的机械移动转换为电输出的装置，包括：单一硅基板；延伸跨过基板的限定相对可移动部件的一部分的间隙以及在其间延伸的弹性截面体，该截面体采用与该单一基板相同的材料制成；设置在硅基板表面上的至少一个应变感应元件，所述应变感应元件具有由中间颈部相互连接的两个端部，该颈部支承在使应变集中的结构上，该结构延伸跨过该间隙并且具有延伸至间隙中截面体的垂直壁，该结构采用与该单一基板相同的材料利用深活性离子蚀刻制成；以及电性连接至端部的电极装置，用于检测端部之间的电阻的变化，此时颈部经受沿穿过应变感应元件的电流的方向的、由各基板部件的相对移动产生的应力。