发明名称 |
采用磷埋及深磷埋技术的双极型纵向NPN管制作工艺 |
摘要 |
采用磷埋及深磷埋技术的双极型纵向NPN管制作工艺是一种在双极型纵向NPN管制作工艺中采用磷埋及深磷埋技术的工艺方法,为了减小NPN管饱和压降,提高电路输出功率。采用磷埋及深磷埋技术的双极型纵向NPN管制作工艺,即在制作NPN管的双极工艺中采用磷埋层及深磷埋技术。采用磷埋及深磷埋技术与常规采用锑埋技术芯片面积大小相同,不需额外增加芯片面积,仅工艺过程有所不同。采用磷埋及深磷埋工艺制作NPN管的材料片为P型<111>晶向,电阻率为10~20Ω·cm,而采用深磷埋技术后,由于深磷埋的上翻作用,可以有效的补偿深磷扩散较深时的浓度与体积,从而消除了深磷与埋层接触处电阻偏大的瓶颈问题。 |
申请公布号 |
CN100578755C |
申请公布日期 |
2010.01.06 |
申请号 |
CN200810025559.4 |
申请日期 |
2008.04.29 |
申请人 |
无锡友达电子有限公司 |
发明人 |
苏卡;邓晓军;卜惠琴 |
分类号 |
H01L21/8222(2006.01)I;H01L21/331(2006.01)I;H01L21/76(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/8222(2006.01)I |
代理机构 |
南京经纬专利商标代理有限公司 |
代理人 |
叶连生 |
主权项 |
1.一种采用磷埋及深磷埋技术的双极型纵向NPN管制作工艺,其特征在于该工艺具体如下:a.投料: 采用P型基片,晶向为<111>,b.氧化: 在基片表面氧化,氧化厚度<img file="C2008100255590002C1.GIF" wi="383" he="52" />c.磷埋光刻、腐蚀: 在纵向NPN管N埋部位刻出光刻窗口,d.磷埋注入: 注入部位为纵向NPN管N埋区,注入能量50KeV~ 120KeV,注入剂量8E14~1.2E15,杂质为磷,e.磷埋退火: 退火温度为1050℃~1200℃,先通280~320分钟氮气, 再通110~130分钟氧气,f.硼埋光刻、注入: 注入部位为隔离槽区,注入能量50KeV~100KeV, 注入剂量2E14~1E15,杂质为硼,g.深磷埋光刻、注入:注入部位为纵向NPN管集电区,注入能量50KeV~ 120KeV,注入剂量1E15~4E15,杂质为磷,h.深磷埋退火: 退火温度1050℃~1200℃,通入55~65分钟氮气,i.外延: 在纵向NPN管集电区部位外延,厚度5~10微米, 电阻率2~4Ω·CM,j.深磷扩散: 扩散部位为NPN管集电区,深磷预扩时的温度是1000℃~ 1100℃,先同时通4~6分钟氮气和氧气,接着同时通35~45 分钟磷源,最后同时通4~6分钟氮气和氧气;深磷再扩时 的温度为1100℃~1200℃,先同时通4~6分钟氧气,接着 同时通65~75分钟氢气和氧气,最后通4~6分钟氧气,k.隔离扩散: 扩散部位为隔离槽,目的是与硼埋对通,隔离预扩时的温度 是600℃~900℃,先同时通8~12分钟氮气和氧气,接 着同时通22~28分钟硼源,最后同时通8~12分钟氮气和 氧气;隔离再扩时的温度是1100℃~1200℃,同时通入 8~12分钟氮气和氧气,l.P-、基区注入: 注入部位为P-电阻区、基区电阻区及NPN管基区,P-注入 能量50KeV~100KeV,剂量为1E13~3E13,杂质为硼; 基区注入能量50KeV~100KeV,剂量为2E14~4E14,杂 质为硼,m.P+注入: 注入部位为横向PNP管发射区,集电区,注入能量为50KeV~ 100KeV,剂量为8E14~2E15,杂质为硼,n.P+退火: 退火温度1050℃~1200℃,通入25~35分钟氮气,o.发射区扩散: 扩散部位为NPN管集电极欧姆接触区及发射区,发射区予 扩时的温度是900℃~1100℃,先同时通4~6分钟氮气和 氧气,接着通12~18分钟磷源,最后同时通4~6分钟氮 气和氧气;发射区再扩时的温度是900℃~1100℃,先通4~ 6分钟氧气,接着同时通25~35分钟氢气和氧气,最后通 4~6分钟氧气,p.接触孔光刻、腐蚀:采用干法加湿法的方法刻蚀,以形成良好的表面状态,q.一铝溅射: 在基片表面上溅射0.8~1.2微米厚的铝硅,r.介质淀积: 在基片表面上淀积10000~20000埃厚的氮化硅,s.通孔光刻、刻蚀: 刻出一铝与二铝之间连接的通孔区域,t.二铝溅射: 溅射1.2~2微米厚的铝硅,采用厚铝,为提高电路能力,u.压点光刻、刻蚀: 刻出芯片压点区域。 |
地址 |
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