用于UV固化室的增加设备利用性/MWBC减少的装置和方法

摘要

本发明公开了一种用于UV固化室的增加设备利用性/MWBC减少的装置和方法，其引导层状净化气流通过工件以去除除气或产生自处理期间的工件的污染物或物质。为了提供层状气流，泵衬里可采用环形，其具有诸如各种尺寸和/或形状的狭槽的多个注入狭槽以及相对的多个接收狭槽。为了防止污染物在室的组件上的聚集，净化气流足够载送来自处理室的污染物或除气物质。为了防止物质在衬里上的冷凝，泵衬里可通过来自辐射源的传导和辐射进行加热。为了增加衬里的发射率，泵衬里还可进行阳极化或其它处理。

主权项

1.一种用于固化工件的系统，包括：室外壳；在所述室外壳中用于支持工件的衬底支架；辐射源，其用于将辐射引导到所述衬底支架上支撑的工件，以固化所述工件；以及泵衬里，其包括环形元件，所述环形元件具有适于配合所述工件的外围的中心开口，所述环形元件具有用于接收气流进入所述环形元件中的第一沟道和将净化气流排放出所述环形元件中的第二沟道的气体进气室和气体排气室，所述泵衬里具有位于所述中心开口附近的多个注入狭槽，所述多个注入狭槽用于引导层状的净化气流通过由所述辐射正在进行固化的所述工件的表面，所述泵衬里还具有位于所述中心开口附近的多个接收狭槽，所述多个接收狭槽与所述多个注入狭槽相对并且用于接收引导通过所述晶片的气流，所述接收狭槽进一步用于在所述固化处理期间接收从所述工件除气的任何物质。