激光束加工机

摘要

一种激光束加工机，包括用于固定工件的卡盘台、用于向固定在卡盘台上的该工件施加能够穿过该工件的激光束的激光束施加装置、和用于相对彼此移动卡盘台和激光束施加装置的加工进给装置，该激光束施加装置包括激光束振荡装置、用于传输由激光束振荡装置振荡的激光束的光学传输装置、和具有用于会聚由光学传输装置传输的激光束的单个聚光透镜的传输/会聚装置，其中该传输/会聚装置将由激光束振荡装置振荡的激光束会聚在两个或者多个焦点，通过所述单个聚光透镜使这些焦点在光轴方向和加工进给方向上移动。

主权项

1、一种激光束加工机，包括：用于固定工件的卡盘台、用于向固定在该卡盘台上的该工件施加能够穿过该工件的激光束的激光束施加装置、和用于相对彼此移动所述卡盘台和所述激光束施加装置的加工进给装置，该激光束施加装置包括激光束振荡装置、用于传输由该激光束振荡装置振荡的激光束的光学传输装置、和具有用于会聚由所述光学传输装置传输的激光束的单个聚光透镜的传输/会聚装置，其中，该传输/会聚装置使得由所述激光束振荡装置振荡的激光束在两个或者多个焦点会聚，通过所述单个聚光透镜使这些焦点在所述加工进给方向和固定在所述卡盘台上的工件的厚度方向上移动，其中，所述光学传输装置包括用于将由所述激光束振荡装置振荡的激光束分成第一激光束和第二激光束的分束器、用于在加工进给方向上移动所述第一激光束的焦点和所述第二激光束的焦点的焦点位置移动装置、和用于在固定在上述卡盘台上的工件的厚度方向上移动所述第一激光束和所述第二激光束中的其中一个的焦点的焦点深度移动装置，其中，该焦点位置移动装置具有多个镜子，并且通过改变所述多个镜子的安装角度来改变所述加工进给方向上所述第一激光束的焦点和所述第二激光束的焦点之间的位移至一距离，其中，所述第二激光束的焦点比所述第一激光束的焦点在所述工件的厚度方向上的位置深。