缺陷检查方法以及缺陷检查装置

摘要

本发明提供一种缺陷检查方法以及缺陷检查装置，防止过度的检查从而提高检查效率。缺陷检查装置检查检查对象物是否存在缺陷并且连续检查多个检查对象物。缺陷检查装置具备：输送单元，连续输送检查对象物；检查部，连续检查由输送单元输送的检查对象物；图像处理部，对由检查部连续检查的检查对象物的图像进行处理而检测缺陷；控制部，在由图像处理部在被连续检查的多个检查对象物中的相同或近似位置上检测出多个相同的缺陷的情况下，将该缺陷判断为不是由检查对象物引起的缺陷而进行排除。缺陷检查方法也同样地在多个检查对象物中的相同或近似位置上检测出多个相同的缺陷的情况下，将该缺陷判断为不是由检查对象物引起的缺陷而进行排除。

主权项

1.一种缺陷检查方法，该缺陷检查方法检查检查对象物是否存在缺陷并且连续检查多个检查对象物，其特征在于，在被连续检查的多个检查对象物中的同一位置或者其附近位置上检测出多个相同的缺陷的情况下，将该缺陷判断为不是由检查对象物引起的缺陷而进行排除。