发明名称 |
放射线敏感性树脂组合物、液晶显示元件用隔离物和保护膜以及它们的形成方法 |
摘要 |
含有[A]不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐与不同于它们的其它不饱和化合物的共聚物、[B]聚合性不饱和化合物、[C]放射线敏感性聚合引发剂、以及[D]硝酰基化合物例如双(1-烃氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)癸二酸酯的放射线敏感性树脂组合物。提供可形成微细的图案、析像性能优异的放射线敏感性树脂组合物。 |
申请公布号 |
CN101622577A |
申请公布日期 |
2010.01.06 |
申请号 |
CN200880006403.X |
申请日期 |
2008.02.26 |
申请人 |
JSR株式会社 |
发明人 |
长屋胜也;坂井孝广;一户大吾;浜口仁 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01)I;G03F7/028(2006.01)I;G02F1/1339(2006.01)I;G03F7/033(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
吴 娟;孙秀武 |
主权项 |
1.放射线敏感性树脂组合物,其特征在于含有:[A](a1)选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的至少一种、与(a2)不同于(a1)的其它不饱和化合物的共聚物;[B]聚合性不饱和化合物;[C]放射线敏感性聚合引发剂;以及[D]硝酰基化合物。 |
地址 |
日本东京都 |