发明名称 METHOD OF RADIOFREQUENCY SPUTTER ETCHING
摘要
申请公布号 US3692655(A) 申请公布日期 1972.09.19
申请号 USD3692655 申请日期 1971.04.05
申请人 RCA CORP. 发明人 JOHN LOUIS VOSSEN JR.
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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