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发明名称
Cleaning composition, cleaning method, and manufacturing method of semiconductor device
摘要
申请公布号
EP1892285(B1)
申请公布日期
2010.01.06
申请号
EP20070114451
申请日期
2007.08.16
申请人
JSR CORPORATION
发明人
ANDOU, MICHIAKI;KONNO, TOMOHISA;SHIDA, HIROTAKA;UCHIKURA, KAZUHITO;KURASHIMA, NOBUYUKI;MINAMIHABA, GAKU;TATEYAMA, YOSHIKUNI;YANO HIROYUKI
分类号
C11D11/00;B82Y10/00;B82Y30/00;B82Y40/00;C11D1/14;C11D1/22;C11D1/72;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/33;C11D3/36;C11D3/37;C11D17/06;C23G5/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/321;H01L21/768;H05K3/26
主分类号
C11D11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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