激光加工装置和激光加工方法

摘要

本发明提供激光加工装置和激光加工方法。激光加工装置(1)具有激光光源(10)、空间光调制器(20)、驱动部(21)、控制部(22)以及聚光光学系统(30)。控制部(22)在被存储部(21A)存储的多个基本全息图中，选择与加工对象物(91)中的整体加工图案所包含的各基本加工图案相对应的基本全息图；针对该选择的各基本全息图，当设输入到空间光调制器(20)的基本全息图的显示区域中的激光的强度为I，设基本全息图中的激光的衍射效率为η，设与基本全息图相对应的基本加工图案中的聚光点数为n时，以使“Iη/n”的值的偏差变小的方式确定空间光调制器(20)中的基本全息图的显示区域。

主权项

1.一种激光加工装置，其特征在于，是通过向加工对象物照射激光从而以包含两个以上的基本加工图案的整体加工图案总括地对所述加工对象物进行加工的激光加工装置，具有：输出激光的激光光源；相位调制型的空间光调制器，输入从所述激光光源输出的激光，将分别在2维排列的多个像素上调制所述激光的相位的整体全息图进行显示，并输出该相位调制后的激光；聚光光学系统，输入从所述空间光调制器输出的激光，并使该激光在所述加工对象物上成像；存储部，存储分别对应于多个基本加工图案而应显示于所述空间光调制器中的多个基本全息图；以及控制部，基于从所述存储部所存储的多个基本全息图中选择的基本全息图而构成整体全息图，并使该构成的整体全息图显示于所述空间光调制器中，所述控制部进行如下工作：在被所述存储部存储的多个基本全息图中，选择与所述加工对象物上的整体加工图案所包含的各基本加工图案相对应的基本全息图，针对该选择的各基本全息图，当设输入到所述空间光调制器中的基本全息图的显示区域中的激光的强度为I，设基本全息图中的激光的衍射效率为η，并设与基本全息图相对应的基本加工图案中的聚光点数为n时，以使Iη/n的值偏差变小的方式确定所述空间光调制器中各基本全息图的显示区域，以利用所述聚光光学系统使激光从所述确定的所述空间光调制器中的各基本全息图的显示区域向所述加工对象物上对应的基本加工图案的成像区域进行成像的方式，在各基本全息图上重叠光栅从而构成整体全息图，使该构成的整体全息图显示于所述空间光调制器中。