一种扫描近场光学显微镜扫描探头

摘要

本发明涉及一种扫描近场光学显微镜扫描探头。现有的扫描探头成像质量较差，技术复杂。本发明包括传感器架、CCD传感器、成像室、滤光片、图像采集卡。CCD传感器设置在传感器架上，成像室为倒立的内部中空的圆锥体，成像室底面与传感器架配合连接；CCD传感器芯片的感光面与成像室的底面位置对应；成像室的锥顶开有小孔，小孔的直径为50～500nm；成像室内活动设置有滤光片，小孔所在平面、滤光片平面均与成像室底面平行，CCD传感器与图像采集卡信号连接。本发明结构简单，将近场信号直接转化为一定的图像信号，利用图像处理的方法解调近场信息，避免了背景光的干扰，具有较高的分辨率。

主权项

1、一种扫描近场光学显微镜扫描探头，包括传感器架、CCD传感器、成像室、滤光片、图像采集卡，其特征在于：CCD传感器设置在传感器架上，成像室为倒立的内部中空的圆锥体，成像室底面与传感器架配合连接；CCD传感器芯片的感光面与成像室的底面位置对应；成像室的锥顶开有小孔，小孔的直径为50～500nm；成像室内活动设置有滤光片，小孔所在平面、滤光片平面均与成像室底面平行；CCD传感器与图像采集卡信号连接。