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发明名称 APPARATUS FOR BLANKING A CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 EP1751784(B1) 申请公布日期 2010.01.06
申请号 EP20050738974 申请日期 2005.05.13
申请人 NANOBEAM LIMITED 发明人 ZHANG, TAO
分类号 G03F7/00;H01J37/04;G21K1/087;H01J9/14;H01J37/09;H01J37/147;H01J37/15 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
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