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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 KR100935289(B1) 申请公布日期 2010.01.06
申请号 KR20070122871 申请日期 2007.11.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/02 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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