紫外激光装置以及使用该紫外激光装置的曝光装置和曝光方法

摘要

紫外激光装置，其特征在于包括：激光发生部分，它具有在红外区域到可见区域的波长范围内发生单一波长的激光的单一波长振荡激光器；光放大器，它具有放大由上述激光发生部分发生的激光的光纤放大器；波长变换部分，它使用非线性光学晶体把上述放大后的激光波长变换为紫外光，该紫外激光装置发生单一波长的紫外光。把掩模的图案转印到基板上的曝光装置中，包括光源和传送光学系统，其中光源具有：射出单一波长激光的激光装置、放大上述激光的第1光纤放大器、把上述已放大的激光分支为多路的光分支装置、分别放大上述多路分支光的第2光纤放大器；传送光学系统，把从上述光源射出的激光传送到曝光装置。

主权项

1.一种紫外激光装置，包括：激光发生部分，具有发生从红外区域到可见区域波长范围内单一波长激光的单一波长振荡激光器；光放大器，具有多次放大由上述激光发生部分发生的激光的多个光纤放大器；及波长变换部分，它具有：多个非线性光学晶体，用于把上述放大后的光波长变换为紫外光；和圆柱透镜对，其中被放大的光通过所述多个非线性光学晶体中的一个非线性光学晶体入射到该圆柱透镜对上，以及被放大的光通过该圆柱透镜对从所述一个非线性光学晶体入射到所述多个非线性光学晶体中的一个不同的非线性光学晶体上，由此发生具有单一波长的紫外光。