发明名称 激光切割方法
摘要 本发明涉及一种激光切割方法。该激光切割方法包括以下步骤:沿第一方向利用激光束照射待加工物件,以在该待加工物件上形成一个第一加热带;对该第一加热带进行冷却,以使该待加工物件沿该第一方向产生一个第一裂纹,该第一裂纹具有一个第一深度;沿与第一方向相交的第二方向利用激光束照射待加工物件,以在该待加工物件上形成一个第二加热带;对该第二加热带进行冷却,以使该待加工物件沿该第二方向产生一个第二裂纹,该第二裂纹具有一个第二深度,且该第二深度大于该第一深度。
申请公布号 CN101618942A 申请公布日期 2010.01.06
申请号 CN200810302450.0 申请日期 2008.06.30
申请人 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司 发明人 周祥瑞;何仁钦;黄俊凯;傅承祖
分类号 C03B33/09(2006.01)I 主分类号 C03B33/09(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 1.一种激光切割方法,用于使待加工物件产生裂纹,以沿该待加工物件上的裂纹分离出所需物件,该激光切割方法包括以下步骤:沿第一方向利用激光束照射待加工物件,以在该待加工物件上形成一个第一加热带;对该第一加热带进行冷却,以使该待加工物件沿该第一方向产生一个第一裂纹,该第一裂纹具有一个第一深度;沿与第一方向相交的第二方向利用激光束照射待加工物件,以在该待加工物件上形成一个第二加热带;对该第二加热带进行冷却,以使该待加工物件沿该第二方向产生一个第二裂纹,该第二裂纹具有一个第二深度,且该第二深度大于该第一深度。
地址 201600上海市松江区松江工业区西部科技工业园区文吉路500号