用于IC探测的可机械重新配置的垂直测试器接口

摘要

一种晶片测试组件包括分块排列的多个探针头基片，其中连接器附加于一侧而探针在相反侧得到支撑。在一实施方式中，柔性电缆连接器将探针头块上的连接器直接连接于测试头，而在另一实施方式中柔性电缆将探针头块连接于向探针头连接器提供水平布线的PCB。在一实施方式中，校平销提供连接于附加在块上的夹持元件的简化支撑结构，以用于施加推-拉校平力。测试头连接器接口框架使测试头和探针卡之间的连接器重新排列，以提供全晶片接触或部分晶片接触。测试头连接器通过可在轨道上滑动、或可插入并可不插入来重新排列，从而允许一定范围的位置上移动。

主权项

1.一种探针卡组件，包括：支撑探针元件的多个基片，所述探针元件构造成接触晶片，所述多个基片相对于彼此可重新定位；支承板，所述支承板被构造成支承所述多个基片；测试头接口PCB，具有在形成测试头的连接的一侧的第一连接器和在相对侧的第二连接器，所述第一连接器和所述第二连接器以内部线路互连；以及作为柔性连接的柔性电缆组件，在一端电气连接到支撑所述探针元件的基片，而在另一端电气连接到所述测试头接口的第二连接器。