基于光栅的高精度激光光束小角度偏转装置

摘要

基于光栅的高精度激光光束小角度偏转装置，涉及一种激光光束偏转装置。提供一种成本低、偏转精度高的基于光栅的高精度激光光束小角度偏转装置。设有激光器、可测量旋转角度的旋转台、光栅和光阑。光栅设于旋转台上且位于旋转台的直径垂直面上，光栅的光栅面背向激光器，激光器设于光栅前方，激光器发出的激光光束垂直入射于光栅，并且穿过旋转台的旋转轴，光阑设于光栅后的光路中，光阑上设有透光窗，透光窗只供由光栅产生的一束衍射光通过。

主权项

1.基于光栅的高精度激光光束小角度偏转装置，其特征在于设有激光器、可测量旋转角度的旋转台、光栅和光阑，光栅设于旋转台上且位于旋转台的直径垂直面上，光栅的光栅面背向激光器，激光器设于光栅前方，激光器发出的激光光束垂直入射于光栅，并且穿过旋转台的旋转轴，光阑设于光栅后的光路中，光阑上设有透光窗。