经由一个供电级的多个插头线圈的控制

摘要

本发明涉及一种射频等离子体产生装置，该装置包含：电力供给电路(2)，其包含由控制信号(V1)控制的开关(M)，以便以控制频率将电压(Vinter)施加到控制电路的输出；至少两个等离子体产生电路(BB1，BB2，BB3，BB4)，其并联连接到电力供给电路的输出，各个电路具有其自己的谐振频率，并能够在高电压等级以基本等于等离子体产生电路谐振频率的频率被施加到电力供给电路输出时产生等离子体；供电控制装置(5)，其由等离子体产生电路的谐振频率(F1，F2，F3，F4)确定控制频率，以便根据所用控制频率有选择地控制各个电路。

主权项

1.一种射频等离子体产生装置，其特征在于包含：-电力供给电路(2)，其包含由控制信号(V1)控制的开关(M)，以便以由控制信号限定的频率将中间电压(Vinter)施加到电力供给电路的输出，-至少两个等离子体产生电路(BB1，BB2，BB3，BB4)，其并联连接到电力供给电路的输出，各个等离子体产生电路具有其自己的谐振频率，并能够在高电压等级以大致等于等离子体产生电路谐振频率的频率被施加到电力供给电路输出时产生等离子体，-用于控制电力供给电路的装置(5)，其由等离子体产生电路的谐振频率(F1，F2，F3，F4)中的一个确定控制信号的频率，以便根据所用控制频率有选择地控制各个等离子体产生电路。