发明名称 |
基于InN/GaN应变量子阱紫外LED结构及其制备方法 |
摘要 |
基于InN/GaN应变量子阱紫外LED结构及其制备方法,涉及一种发光二极管。提供一种基于InN/GaN应变量子阱紫外LED结构及其制备方法。所述基于InN/GaN应变量子阱紫外LED结构自底层至顶层依次为:同质基质材料层或异质基质材料层,n型GaN基半导体层,InN/GaN应变量子阱,p型GaN基半导体层,n型GaN基半导体层上设有负电极,p型GaN半导体层设有正电极。选择基质材料;在基质材料上外延生长n型GaN基半导体层;在n型GaN基半导体层上交替生长GaN垒层和InN阱层3~11个周期;在最上一层InN阱层上生长p型GaN基半导体层,退火,在p型和n型GaN层上制备正负电极。 |
申请公布号 |
CN101621108A |
申请公布日期 |
2010.01.06 |
申请号 |
CN200910112318.8 |
申请日期 |
2009.07.30 |
申请人 |
厦门大学 |
发明人 |
康俊勇;林伟;李书平;陈航洋;刘达艺;陈珊珊;杨伟煌 |
分类号 |
H01L33/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01)I |
代理机构 |
厦门南强之路专利事务所 |
代理人 |
马应森 |
主权项 |
1.基于InN/GaN应变量子阱紫外LED结构,其特征在于其结构自底层至顶层依次为:同质基质材料层或异质基质材料层,n型GaN基半导体层,InN/GaN应变量子阱,p型GaN基半导体层,所述p型GaN半导体层设有正电极,n型GaN基半导体层上设有负电极。 |
地址 |
361005福建省厦门市思明南路422号 |