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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT FOR USING OZONE WATER, AUTO DOOR LOCK SYSTEM AND METHOD FOR PROCESSING OF THE SAME
摘要
申请公布号 KR100934917(B1) 申请公布日期 2010.01.06
申请号 KR20070127149 申请日期 2007.12.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;H01L21/00;H01L21/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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