| 主权项 |
一种投影光学系统，用以将在一物体表面上的图型以缩小尺寸的投影在一影像表面，该投影光学系统包含六个反射表面包括第一凹反射表面、第二凸反射表面、第三凸反射表面、第四凹反射表面、第五凸反射表面、和第六凹反射表面，以反射来自物体表面的光，和沿着介于第一和第二反射表面间的光径配置的一孔径阑，该孔径阑位在远离该第一和第二反射表面之各个反射表面，其中，该六个反射表面配置在该物体表面和该影像表面间，其中，一中间影像形成在介于该第四和第五表面间的光径中，其中，相对于该六个反射表面的每一反射表面界定一表面顶点，当成介于光学轴和球形表面间的节点之一，该表面顶点最接近在该六个反射表面的每一反射表面上之光的反射点，该球形表面具有一中心，其界定当成该六个反射表面的每一反射表面的曲率中心，和一半径，其界定当成该六个反射表面的每一反射表面的曲率半径，其中，该六个反射表面的表面顶点以第四反射表面、第二反射表面、第三反射表面、第一反射表面、第六反射表面、和第五反射表面的顺序沿该光学轴从该物体表面配置至该影像表面，和其中，该孔径阑位在远离该第一和第二反射表面之每一反射表面Lst/10或更远，其中Lst为介于该第一和第二反射表面间的光径长度。 |
