模型化一研磨处理以实现控制材料移除

摘要

本发明大致描述多种技术，该等技术使研磨制造处理实现一受控制之效能参数(例如材料移除量)，而无需在该研磨制造处理中使用反馈控制。举例而言，一种系统包括：一机器，以利用研磨物件来研磨工件；及一控制器，以控制该机器施加该研磨物件至该工件，而使研磨物件实现大体恒定的切割速率。该控制器根据一开环(open-loop)数学模型来控制一个或多个处理变数以实现控制材料移除，该数学模型使研磨物件之切割速率与研磨物件之施加力相关。举例而言，当根据该模型来研磨一个或多个工件时，可获得恒定之切割速率，或者可移除固定量的材料。

主权项

一种用于控制一研磨处理之方法，包含：当在一研磨周期期间将一研磨物件类型施加至一工件类型时，产生该研磨物件类型之一切割速率的一开环模型，其中产生该模型包含根据以下之一第一方程式以在一实质恒力下将该研磨物件施加至该工件之一时间长度的函数，来计算该研磨物件之该切割速率R：R=R1×e-+R2×e-其中其中R1与R2是根据该研磨物件之一初始切割速率而设定的常数，t等于已将该研磨物件施加至该工件之一时间长度，及T1与T2是时间常数；及根据该模型利用该研磨物件类型之一研磨物件来研磨该工件类型之一工件，以实现一实质恒定之切割速率。