真空溅镀机之阴极构造装置

摘要

一种真空溅镀机之阴极构造，藉由导磁金属片改变靶材表面上的磁力线分布，该装置具有调节牵引磁场之能力，进而能使靶材表面消耗范围增加以达到靶材利用率增加之效果。溅镀机之阴极构造具备：磁场产生装置单元，配置于靶材单元的下侧面以形成靶材上侧面的磁力线分布；导磁金属片，配置于靶材单元的左、右侧面及辅助磁场单元内辅助磁极之上方，以调节牵引磁力线的磁通密度分布，进而能造成该轰击带电粒子轰击靶材效果更加宽广。

主权项

一种真空溅镀机之阴极构造，其包含：磁场产生装置单元，与真空溅镀机之支架机械性连接，可产生磁场；靶材单元，该靶材单元由靶材与铜背板组成，铜背板安装于靶材背面，即远离真空溅镀机之轰击面，位于磁场产生装置单元之上方，且左右侧均和导磁金属片相接；导磁金属片，以导磁金属材料做成，置于靶材单元之左、右侧面，且位支架之间；藉由导磁金属片之作用使得磁场受到牵引，造成该轰击带电粒子轰击靶材效果更加宽广更加均匀。