网版印刷装置及影像辨识位置定位方法

摘要

本发明之课题为：在网版印刷装置中，于使基板与遮罩位置定位之情形时，不依据基板种类而持有专用的位置定位标记，而将基板的图案作为位置定位标记之代用方法中，由于类似形状之图案的关系，由于错误辨识而成为位置定位不良的原因。本发明之解决手段，系作成具备：各个检测由形成于网版遮罩及基板表面之任意图案的一部份或全部所形成的图案之第1手段；及各个检测最终位置定位目标的图案各个的重心之第2手段；及藉由影像计测来运算藉由前述第1及第2手段所检测之图案的视窗中心与藉由前述第2手段所检测之图案各个的重心的偏差之运算手段；及依据藉由前述运算手段之运算结果，计算补正系数而予以登录之补正手段；及位置定位手段之构成。

主权项

一种网版印刷装置，系以形成于网版遮罩上之2处以上的任意图案开口部为位置定位目标，并使用基板表面之2处以上的任意图案，依据影像处理，使前述基板与网版遮罩进行位置定位，而介由网版遮罩将浆料涂布于基板面上之网版印刷装置，其特征为：具备：各个检测由形成于网版遮罩上之前述图案开口部的一部份或全部所形成之第3图案，及由基板表面的任意图案之一部份或全部所形成的第1图案之第1手段；及各个检测对于前述第1或第3图案各个的最终位置定位目标的第2及第4图案各个的重心之第2手段；及藉由影像计测来运算藉由前述第1及第2手段所检测之第1及第3图案各个的视窗中心与藉由前述第2手段所检测之第2及第4图案各个的重心的偏差之运算手段；及依据前述运算手段之运算结果，计算对于XY θ工作台各轴之补正系数而予以登录之补正手段，且具备：位置定位手段，其系于生产运转中，藉由第1及第2手段，于第1~第4图案的中心检测后，于实施XY θ工作台位置定位量运算时，加上藉由前述补正手段而被登录之补正值，来计算XY θ工作台之各轴的控制量并进行位置定位。