三轴位移平台

摘要

本发明系一种三轴位移平台，包含一第一轴线性装置、一第二轴线性装置、一第三轴线性装置、一支撑架及一配重件；其中，该三轴位移平台系由该第一轴线性装置、该第二轴线性装置、该支撑架及该第三轴线性装置重叠组设而成，缩小三轴位移平台的组装空间，且该配重件重叠组设于该支撑架上平衡重量，进而提升位移精度。

主权项

一种三轴位移平台，包含：一第一轴线性装置，提供X轴向位移；一第二轴线性装置，提供Y轴向位移，该第二轴线性装置重叠组设于该第一轴线性装置上随之进行X轴向位移，该第二轴线性装置作动方向系与该第一轴线性模组作动方向相交；一支撑架，一侧重叠组设于该第二轴线性装置上随之进行Y轴向位移；一第三轴线性装置，提供Z轴向位移，该第三轴线性装置重叠组设于该支撑架的另一侧上随之进行Y轴向位移，该第三轴线性装置作动方向系与该第一轴线性模组及该第二轴线性模组的作动方向相交；以及一配重件，设置于支撑架作重量平衡。