PROCEDE D'OBTENTION DE TAPIS DE NANOTUBES DE CARBONE SUR SUBSTAT CONDUCTEUR OU SEMI-CONDUCTEUR

摘要

La présente invention concerne un procédé d'obtention d'un tapis de nanotubes de carbone (NTC) (580) sur un substrat conducteur ou semi-conducteur (510). Selon ce procédé, un complexe catalytique (530,570) comprenant au moins une couche métallique (570), est d'abord déposé sur ledit substrat. Ladite couche métallique subit ensuite un traitement oxydant. Enfin, on fait croître des nanotubes de carbone à partir de la couche métallique ainsi oxydée. La présente invention concerne également une méthode de réalisation d'un via utilisant ledit procédé d'obtention de tapis de NTC.