发明名称 BEHANDLUNG VON POLYSILAZAN-ABFALL
摘要 <p>The present invention provides for a method for treating polysilazane waste material.</p>
申请公布号 DE602007003350(D1) 申请公布日期 2009.12.31
申请号 DE20076003350T 申请日期 2007.05.15
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 GURMAN, JOSHUA;OBERLANDER, JOSEPH E.;CARL, TOM;KICKER, BRUCE
分类号 C08J11/22 主分类号 C08J11/22
代理机构 代理人
主权项
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