| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Das mikromechanische Bauelement umfasst ein Substrat (1) mit einer Vorderseite (V) und einer Rückseite (R), welches auf der Vorderseite (V) einen von einer Membran (M; M') überspannten Hohlraum (10) aufweist; eine auf der Membran (M; M') verankerte erste Elektrodenstruktur (7a; 7a'), welche eine Oberseite (O; O') und eine Unterseite (U; U') aufweist; eine auf dem Substrat (1) seitlich zur Membran (M; M') versetzt verankerte zweite Elektrodenstruktur (7b, 7c; 7b', 7c'). Eine Auslenkung der Membran (M; M') bewirkt durch die Verschiebung der beiden Elektrodenstrukturen gegeneinander eine Veränderung der Kapazität zwischen der ersten Elektrodenstruktur (7a; 7a') und der zweiten Elektrodenstruktur (7b, 7c; 7b', 7c'), wodurch beispielsweise eine Druckänderung erfassbar ist.
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