Maskenrohlingglassubstrat, Maskenrohlingglassubstratherstellungsverfahren, Maskenrohlingherstellungsverfahren und Maskenherstellungsverfahren

摘要

Durch die vorliegende Erfindung wird ein Maskenrohlingglassubstrat zur Verwendung bei der Herstellung eines Maskenrohlings bereitgestellt. Auf dem Maskenrohlingglassubstrat ist eine Markierung, die durch mehrere Pits Information zum Identifizieren oder Managen des Maskenrohlingglassubstrats darstellt, auf einer Oberfläche eines Bereichs des Maskenrohlingglassubstrats ausgebildet, der keinen Einfluss auf die Ausbildung eines Übertragungsmusters hat. Jedes der die Markierung bildenden Pits ist ein rundes Loch mit einem allgemein kreisförmigen Randabschnitt, wobei ein Abstand L1 zwischen den Randabschnitten benachbarter Pits 50 µm oder mehr beträgt. Die Markierung wird beispielsweise auf einer Endfläche des Maskenrohlingglassubstrats ausgebildet (Fig. 3A).