多晶硅制造装置

摘要

本发明的多晶硅制造装置，在供给有原料气体的反应炉(1)内，通过加热硅芯棒(4)而使多晶硅析出在硅芯棒的表面。本发明的多晶硅制造装置具有电极(23)、电极托架(22)、及环状绝缘材料(34)。电极沿上下方向延设保持硅芯棒。电极托架内部形成有使冷却介质流通的冷却流路(27)，并插入形成在反应炉的底板部(2)上的通孔(21)内，保持电极。环状绝缘材料配置在通孔的内周面和电极托架的外周面之间，使底板部和电极托架之间电气地绝缘。并且，在本发明的多晶硅制造装置中，在电极托架的外周面上设置有扩径部(25)，该扩径部与环状绝缘材料的上端部的上表面的至少一部分接触，在其内部形成了冷却流路的一部分。

主权项

1.一种多晶硅制造装置，在供给了原料气体的反应炉内，通过加热硅芯棒而使多晶硅析出在硅芯棒的表面，其特征在于，具有：电极，沿上下方向延设保持上述硅芯棒；电极托架，内部形成有使冷却介质流通的冷却流路，并插入形成在上述反应炉的底板部上的通孔内，保持上述电极；环状绝缘材料，配置在上述通孔的内周面和上述电极托架的外周面之间，使上述底板部和上述电极托架之间电气地绝缘，在上述电极托架的外周面上设置有扩径部，该扩径部与上述环状绝缘材料的上端部的上表面的至少一部分接触，在其内部形成有上述冷却流路的一部分。