发明名称 AN END EFFECTOR OF A ROBOT FOR TRANSPORTING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP2137762(A1) 申请公布日期 2009.12.30
申请号 EP20080744912 申请日期 2008.04.02
申请人 E. I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 YUASA, ICHIRO;MARUYAMA, YUICHI;TOKI, TERUKAZU;FUKAZU, ISAO
分类号 H01L21/687;B25J9/00;B25J15/00;H01L21/673;H01L21/677 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
地址