一种XY定位平台装置

摘要

本实用新型适用于超精密定位设备领域，提供了一种XY定位平台装置，包括安装基座和装置在安装基座上的相互垂直运动的Y平台和XY平台，所述Y平台和XY平台均开设有供透射光或背光照明光通过的透光开口，所述Y平台设有X导轨，所述XY平台中置于X导轨上。采用以上技术方案后，Y平台和XY平台开设的透光开口可以使光线顺利通过，可满足某些生产的需要；XY定位平台装置设有的XY平台中置安装于Y平台上，可使XY平台和Y平台受力平均，重心不再偏置，从而有效的解决了XY定位平台重心远离Y平台导轨导致局部微观偏摆较大、精度下降的问题。

主权项

1、一种XY定位平台装置，包括安装基座和装置在安装基座上的相互垂直运动的Y平台和XY平台，其特征在于：所述Y平台和XY平台均开设有供透射光或背光照明光通过的透光开口，所述Y平台设有X导轨，所述XY平台中置于所述X导轨上。