发明名称 |
软模及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种软模及其制造方法。首先形成在基板上具有图案的母模。第一液态高聚物前体形成在母模上并随后被部分固化。具有高UV透射率的支撑膜粘接在部分固化的高聚物上。用连接剂处理粘接的支撑膜和部分固化的高聚物,并且在部分固化的高聚物和支撑膜上形成第二液态高聚物前体。第二液态高聚物前体和部分固化的高聚物被随后固化以形成模。完全固化的模从母模剥离以形成在一个表面上具有预定形状的软模。 |
申请公布号 |
CN100576082C |
申请公布日期 |
2009.12.30 |
申请号 |
CN200510127522.9 |
申请日期 |
2005.12.05 |
申请人 |
乐金显示有限公司 |
发明人 |
蔡基成;曹奎哲;金珍郁;李昌熙 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 |
代理人 |
徐金国;梁 挥 |
主权项 |
1、一种软模的制造方法,所述方法包括:在母模上形成第一模材料,所述母模在基板上具有图案;部分固化所述第一模材料;将支撑膜粘接在部分固化的第一模材料上;在部分固化的第一模材料和支撑膜上形成第二模材料;完全固化第二模材料和部分固化的第一模材料以形成软模;以及将软模从母模剥离,该剥离的软模在表面上具有倒置的图案。 |
地址 |
韩国首尔 |