| 发明名称 |
OPTICAL SENSOR FOR MEASURING THE DISTANCE AND INCLINATION OF A SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1198694(B1) |
申请公布日期 |
2009.12.30 |
| 申请号 |
EP20010945110 |
申请日期 |
2001.05.10 |
| 申请人 |
CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH |
发明人 |
SCHMIDT, STEFAN |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/02;G01B11/24;G01B11/25 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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