A METHOD FOR A REPETITIVE ION BEAM PROCESSING WITH A BY CARBON CONTAINING ION BEAM,申请号EP20000916428-传众专利搜索

发明名称	A METHOD FOR A REPETITIVE ION BEAM PROCESSING WITH A BY CARBON CONTAINING ION BEAM
摘要
申请公布号	EP1161309(B1)	申请公布日期	2009.12.30
申请号	EP20000916428	申请日期	2000.03.17
申请人	VEECO INSTRUMENTS INC.	发明人	DRUZ, BORIS, L.;WILLIAMS, KURT, E.;HAYES, ALAN, V.
分类号	C23C14/06;B08B9/00;H05H1/46;B08B7/00;H01J27/02;C23C14/22;C23C14/34;C23C14/56;H01J27/18;H01J37/08;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065	主分类号	C23C14/06
代理机构		代理人
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