线锯装置及利用该装置的加工方法

摘要

本发明的目的在于提供一种线锯装置以及利用该线锯装置的加工方法，通过在利用该线锯装置进行加工时使线锯的抖动最小化能精确地加工待加工物体的表面，并且能准确且迅速地切割中空待加工物体。为了实现上述目的，提供一种线锯装置，其加工硅锭、石英和石头中的任意一种待加工物体。该线锯装置包括主滚筒单元、滚筒驱动单元和垂直运动单元。所述主滚筒单元包括一对主滚筒，这对主滚筒布置成相互间隔开并相互平行，并且一线锯绕这对主滚筒缠绕。所述滚筒驱动单元使主滚筒单元的主滚筒旋转。

主权项

1、一种线锯装置，其加工硅锭、石英和石头中的任意一种待加工物体，该线锯装置包括：主滚筒单元，该主滚筒单元包括一对主滚筒，这对主滚筒布置成相互间隔开并相互平行，一线锯绕这对主滚筒缠绕；滚筒驱动单元，该滚筒驱动单元使所述主滚筒单元的主滚筒旋转；和垂直运动单元，该垂直运动单元相对于待加工物体沿垂直方向驱动所述主滚筒单元。