硅基板的制造装置、制造方法及硅基板

摘要

本发明提供：可有效生产不良杂质混入及缺陷少的、平坦的、大面积的多晶薄板状硅基板以及表面具有氧化物被膜等的复合硅基板的制造装置、制造方法以及制品。在惰性氛围气中，从熔融硅制造硅带(12)的成型区中，来自坩埚炉的熔融硅(2)，通过把该熔融硅调整至适于成型状态的旋转辊筒(3)，配置由供给的基材(11)构成的成型用传送带(成型头)(5)，基材(11)具有：相对由熔融硅(2)成型的成型硅带(4)，从其下方分别喷出、排出气体的多个气体喷出孔及气体排出孔，通过这些喷出的气体与排出的气体两者的动态压力均衡状态，在气体上成型的硅带(4)，一边被稳定保持一边在硅表面上通过气体中含有的反应性物质形成被膜，一边在与成型的硅带(4)的面的平行方向施加拉伸应力，成型硅带(12)。

主权项

1.硅基板的制造装置，该装置是如下的硅基板的制造装置：配置有供给熔融硅的成型头，该成型头是介由把来自硅熔融炉的熔融硅调整至适于成型状态的连接体来供给熔融硅的成型头，采用该成型头，在相对硅为惰性气体的氛围气中，把上述熔融硅成型为板状，其特征在于，该成型头具有：相对成型为板状的熔融硅，向至少其1个面喷出气体的多个气体喷出孔、以及把喷出的该气体从成型头排出的多个气体喷出孔及/或排出沟；从该成型头喷出的气体与排出的气体两者所形成的动态压力均衡状态来保持硅，同时一边在与硅的面的平行方向施加拉伸应力，一边把硅成型为板状。