具有热膨胀补偿的光学测量装置

摘要

一种光学测量装置，包括：分度尺(2)，其具有增量码道和绝对码道；以及检测单元，其包括包含第一光电发射器(6)、测读标线板(7)和光电检测器装置(8)的用于测量相对位置的装置以及包含第二光电发射器(9)和光电检测器(11)的线性传感器的用于测量绝对位置的装置。该检测单元包括定位模块(10)，其具有其中设置有测读标线板(7)和光电检测器(11)的线性传感器的支承件(30)，该支承件(30)通过粘合装置(20)安装在该定位模块(10)上。该支承件(30)、粘合装置(20)以及定位模块(10)的物理特性使得支承件(30)的等效热膨胀系数(α_30e)与分度尺(2)的热膨胀系数(α₂)基本相同。

主权项

1、一种光学测量装置，其包括：分度尺(2)，其具有增量码道和绝对码道；以及检测单元，其包括用于测量相对位置的装置，其包括第一光电发射器(6)、测读标线板(7)和光电检测器装置(8)，以及用于测量绝对位置的装置，其包括第二光电发射器(9)和光电检测器(11)的线性传感器，所述用于测量相对位置的装置和所述用于测量绝对位置的装置在空间上沿所述检测单元相对于所述分度尺(2)的相对位移的方向分离，并且所述检测单元包括定位模块(10)，该定位模块包括其中设置有测读标线板(7)和光电检测器(11)的线性传感器的支承件(30)，所述支承件(30)通过粘合装置(20)安装在所述定位模块(10)上，所述光学测量装置的特征在于：所述支承件(30)的材料与所述分度尺(2)的材料不同，并且所述支承件(30)、所述粘合装置(20)以及所述定位模块(10)的物理特性使得所述支承件(30)的等效热膨胀系数(α30e)与所述分度尺(2)的热膨胀系数(α2)基本相同，其中所述物理特性为：所述定位模块(10)的横截面积(A10)、长度(L10)、弹性模量(E10)和热膨胀系数(α10)；所述粘合装置(20)的纵向截面积(A20)、厚度(t)、剪切模量(G20)和热膨胀系数(α20)；以及所述支承件(30)的横截面积(A30)、长度(L30)、弹性模量(E30)和热膨胀系数(α30)。