可配置真空系统和方法

摘要

本发明提供了一种用于涂敷或镀覆的示范性的可配置真空系统和方法，该系统和方法能够处理具有显著不同形状和尺寸的基底。该可配置真空系统包括真空工作台组件和真空室。该真空工作台组件可包括支撑架，绝缘表面，安装在支撑架上的机械传动件，安装在支撑架上的馈电通路，位于在第一丝极导电体和第二丝极导电体之间的绝缘表面上的丝极，通过丝极电源接头的第一丝极电源触点与第一丝极导电体电连接、并通过丝极电源接头的第二丝极电源触点与第二丝极导电体电连接的丝极电源接头，以及可支撑基底的平台。真空室可包括在门上有主开口的真空室、限定内部空间的墙壁、丝极电源接头、馈电通路接头、机械传动接头、可接受并支撑真空室内的真空工作台组件的轨道。真空工作台组件和真空室的各种接头可以自动地相互连接。

主权项

1.一种可配置真空系统，包括：在真空室(700)内使用的用于镀覆基底的真空工作台组件(732)，该真空工作台组件(732)包括：具有顶部、底部、第一平行边、第二平行边的支撑架(730)，其可操作地对该真空工作台组件(732)提供结构支撑；沿支撑架(730)的第一平行边放置的第一滚轴；沿支撑架(730)的第二平行边放置的第二滚轴；具有顶面和底面的绝缘表面(800)，其位于支撑架(730)的顶部；安装到支撑架(730)上的机械传动件(750)，该传动件可操作地通过机械传动接头(752)接收第一位置处的外部机械能，并将机械能传递给第二位置处使用；安装到支撑架(730)上的馈电通路(760)，该馈电通路(760)可操作地通过馈电通路接头(762)接收第一位置处的电信号，并将该电信号传递给第二位置；位于绝缘表面(800)上的第一丝极导电体(822)和第二丝极导电体(824)之间的丝极(820)通过丝极电源接头(740)的第一丝极电源触点与第一丝极导电体(822)电连接、并通过丝极电源接头(740)的第二丝极电源触点与第二丝极导电体(824)电连接的丝极电源接头(740)；和可操作地支撑基底的平台(830)；以及真空室(700)，其有主开口和内部空间，位于其内可操作地与真空工作台组件(732)的丝极电源接头(740)相连的丝极电源接头(714)，位于其内可操作地与真空工作台组件(732)的馈电通路接头(762)相连的馈电通路接头(718)，位于其内可操作地与真空工作台组件(732)的机械传动接头(752)相连的机械传动接头(720)，可操作地接受并支撑真空室(700)内的真空工作台组件(732)的轨道(704，706)，其中真空工作台组件(732)中的该第一滚轴和第二滚轴与真空室(700)内的轨道(704，706)可操作地结合。