| 发明名称 | 等离子去胶台可调式载片体 | ||
| 摘要 | 本发明一种等离子去胶台可调式载片体，用于等离子去胶台中承载并固定待清洗或去胶的外延片，其特征在于，包括：一承载体，该承载体为一矩形，该承载体的上面中间两侧分别有一螺孔；两探针架，该两探针架类似于套管天线的结构，其长度可以伸缩调节，该两探针架的一端分别用螺丝固定在承载体上面的螺孔上；两探针，该探针为细丝状，该两探针的一端分别固定在两探针架的另一端。 | ||
| 申请公布号 | CN100576092C | 申请公布日期 | 2009.12.30 |
| 申请号 | CN200610165109.6 | 申请日期 | 2006.12.13 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 王俊;白一鸣 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I;G03F7/36(2006.01)I;G03F7/26(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 1、一种等离子去胶台可调式载片体，用于等离子去胶台中承载并固定待清洗或去胶的外延片，其特征在于，包括：一承载体，该承载体为一矩形，该承载体的上面中间两侧分别有一螺孔；两探针架，该两探针架类似于套管天线的结构，其长度可以伸缩调节，该两探针架的一端分别用螺丝固定在承载体上面的螺孔上；两探针，该两探针为细丝状，该两探针的一端分别固定在两探针架的另一端。 | ||
| 地址 | 100083北京市海淀区清华东路甲35号 | ||