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发明名称
摘要
申请公布号 SU390601(A1) 申请公布日期 1973.07.11
申请号 SU19711630274 申请日期 1971.02.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):H01L7/68 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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