| 发明名称 | 带有自动对准的流动通道的流量传感器 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种具有衬底的流量传感器，所述衬底具有传感元件(2070)以及与传感元件对准的流动通道(2040)。该传感元件检测流体的至少一种特性。通过在对准层中形成的一个或多个导向元件(2030)对准流动通道。由于以晶片水平提供导向元件，使得跨越传感区域的流动通道是被准确地和精确地对准，使在多个流量传感器中得到可靠、低成本且一致的结果变得容易。该流量传感器适于在恶劣的环境中使用。 | ||
| 申请公布号 | CN101614570A | 申请公布日期 | 2009.12.30 |
| 申请号 | CN200910164630.1 | 申请日期 | 2005.08.31 |
| 申请人 | 霍尼韦尔国际公司 | 发明人 | A·帕马纳布汉;M·G·马基尼;U·邦纳 |
| 分类号 | G01F1/684(2006.01)I | 主分类号 | G01F1/684(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 庞立志;孙秀武 |
| 主权项 | 1.一种传感器，其包含：用于检测至少一种流体特性的传感装置；被设置用于引导流体在传感装置上流动的流动通道对准装置；用于引导流体流入所述流动通道对准装置中的流动导向装置；以及；被设置于流动通道对准装置上的盖。 | ||
| 地址 | 美国新泽西州 | ||