批量化制备双面高温超导薄膜装置

摘要

一种批量化制备双面高温超导薄膜装置，其特点是：将多个基片均匀排布在圆盘形的样品台上，由主转动轴带动旋转，在加热真空腔体内旋转加热，对靶一次性溅射制备大面积双面高温超导薄膜。在加热真空腔体上下两面对称开有溅射口，上下溅射靶对称排布。真空室上下两面还对称放置金属电极靶材。加热腔体与辅转动轴连接，可以旋转溅射口的位置至金属靶材溅射位置，从而实现原位镀覆电极薄膜。主转动轴由无极变速电极带动，可控制旋转速率；加热腔体外壁及溅射靶体周围留有进气口，保证溅射区域及退火时腔体内气压均匀。利用本装置一次性可批量制备16片φ2英寸、12片φ3英寸的高性能双面高温超导薄膜，并可根据实际需要增大样品尺寸和增加样品数目。

主权项

1、一种批量化制备双面高温超导薄膜装置，其特征在于，它包括有：一个真空腔体(5)，呈圆筒形，在该真空腔体的顶盖(4)内和底板上(6)，上下对称排布大尺寸平面或中空圆柱型高温超导材料靶材(1)，以及用于原位溅射电极的金属靶材(2)；在真空腔体5内中间设置有圆盘型加热转动装置，该圆盘型加热转动装置是由圆盘转动装置和圆盘加热装置构成；所述的圆盘加热装置采用上下对称平面式加热，圆盘加热装置包括上加热盘(3)和下加热盘(7)，该下加热盘7固定在支撑底座(8)上，该上加热盘(3)连接固定在下加热盘(7)上，在上、下加热盘面上分别设有一个对准靶材的溅射口(18、19)；所述的圆盘转动装置是由圆盘样品台(11)和转动装置构成，转动装置包括主转动轴(9)、辅转动轴(10)，主转动轴连接圆盘样品台(11)，带动样品台在加热真空腔体(5)内进行旋转加热，辅转动轴(10)连接上加热盘(3)。