| 发明名称 | 硅基液晶微显示器及其形成方法 | ||
| 摘要 | 一种硅基液晶微显示器的形成方法，在硅衬底上形成像素开关电路层；在像素开关电路层上依次形成光屏蔽层和金属间绝缘层；还包括在所述绝缘层上形成金属反射层；蚀刻金属反射层，形成分立的正六边形微反射镜阵列。相应地，本发明提供一种硅基液晶微显示器。本发明的微反射镜采用正六边形形状，由于相邻微反射镜为三个，容易形成单片式结构，同时由于正六边的内角为120°，更为接近圆，相邻微反射镜由于干涉效应造成的相互影响更小，从而减小了光串扰现象。 | ||
| 申请公布号 | CN100576044C | 申请公布日期 | 2009.12.30 |
| 申请号 | CN200610148821.5 | 申请日期 | 2006.12.28 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 黄河;高大为;蒲贤勇 |
| 分类号 | G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/136(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I;H01L27/04(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/1362(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 1.一种硅基液晶微显示器的形成方法，所述硅基液晶微显示器为单片式结构，在硅衬底上形成像素开关电路层；在像素开关电路层上依次形成光屏蔽层和金属间绝缘层，其特征在于，还包括在所述金属间绝缘层上形成金属反射层；蚀刻金属反射层，形成分立的正六边形微反射镜阵列。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||