| 发明名称 | 一种在线机台异常处理的方法和系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种在线机台异常处理的方法，所述方法包括：验证发生报警的模块是否为工艺模块，若是，则验证所述模块是串行模块还是并行模块；若否，则停止任务等待修复；若所述模块为串行模块，则暂停任务，等待用户操作后继续进行工艺处理；若所述模块为并行模块，则利用另一个并行模块进行工艺处理。本发明还提供了一种在线机台异常处理的系统，包括：模块验证单元、串行模块控制单元和并行模块控制单元。本发明对于在线机台可即时修复的异常，不需要终止当前的任务，避免了由于任务终止而多耗费的处理时间，提高了生产线的效率；同时方便用户的操作，使在线机台的控制合理化、自动化。 | ||
| 申请公布号 | CN101615565A | 申请公布日期 | 2009.12.30 |
| 申请号 | CN200910088869.5 | 申请日期 | 2009.07.21 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 崔琳 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苏培华 |
| 主权项 | 1、一种在线机台异常处理的方法，其特征在于，包括：验证发生报警的模块是否为工艺模块，若是，则验证所述模块是串行模块还是并行模块；若否，则停止任务等待修复；若所述模块为串行模块，则暂停任务，等待用户操作后继续进行工艺处理；若所述模块为并行模块，则利用另一个并行模块进行工艺处理。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路一号M5座2楼 | ||