一种扫描探针显微镜全自动进样机构

摘要

本实用新型提供一种扫描探针显微镜全自动进样机构，包括探头、螺杆、基座以及电机，在探头上安装有探针，基座的样品台周边设置有三条螺杆，螺杆的一端与探头配合连接，另一端穿插于基座并与电机相连接，通过这样的设计，有效的克服扫描探针显微镜进针时十分繁琐的手工调节，实现全程全自动进针，并且避免了先手动粗调、再由电机控制自动进针导致检测成像时探针与样品不垂直引起的图像失真和测头沿倾斜方向蠕动引起图像漂移的情况，既能提高扫描探针显微镜的使用方便性，亦可提高扫描探针显微镜的系统稳定性，实用性强，具有技术集合度高、安装维护简单易为、使用方便、快速作业的技术优势。

主权项

1、一种扫描探针显微镜全自动进样机构，包括探头、螺杆、基座以及电机，其特征在于：探头上安装有探针，基座中央的样品台周边设置有三条螺杆，螺杆的一端与探头配合连接，另一端穿插于基座并与电机相连接。