真空阀

摘要

本发明提供一种真空阀，其即使在产品组装之后，也能够简单且正确地调整行程调整部件的原点位置。真空阀(1)通过使第一活塞(26)与第二活塞(27)单独移动来改变阀芯(7)的行程，阶段性地控制流量。真空阀(1)在使第二活塞(27)与上盖(22)抵接的状态下将行程调整部件(38)拧入调整螺纹部(11d)直至与第二活塞(27)触碰，用固定螺钉(39)固定行程调整部件(38)，从而调整行程调整部件的原点位置。

主权项

1.一种真空阀，使安装在阀芯上的环状密封部件产生弹性变形而与设置在腔室端口与泵口之间的阀体的阀座贴紧，从而对腔室端口与泵口之间进行切断，在设于缸筒的第一活塞室与第二活塞室内可滑动地配置有第一活塞与第二活塞，与所述阀芯连接的主轴固定设置在所述第一活塞上，并且插通所述第二活塞，包括卡定所述第二活塞的卡定部件，通过使所述第一及所述第二活塞单独动作，阶段性地调整所述阀芯的行程，其特征在于，所述主轴在插通所述第二活塞室的部分的外周面上形成有调整螺纹部，所述卡定部件为与所述调整螺纹部螺合的行程调整部件，包括相对所述主轴固定所述行程调整部件的固定部件。