| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezicht sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer Statorstufe (50) für eine Turbomolekularpumpe. Zur Herstellung von Statorstufen für Turbomolekularpumpen sind alternativ spanabhebende oder nicht spanabhebende Verfahren bekannt. Spanabhebende Verfahren sind sehr aufwendig, während bei nicht-spanabhebenden Verfahren der Außenring, der Innenring und die Statorschaufeln die gleiche Materialstärke aufweisen. Aufgabe der Erfindung war es demgegenüber, ein Verfahren zur Herstellung einer Statorstufe bzw. eine entsprechende Statorstufe zu schaffen, die eine preiswerte Herstellung, eine einfache Montage und einen guten Wirkungsgrad ermöglicht. Bei dem erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren wird zunächst aus einem Scheibenrohling durch spanabhebendes Bearbeiten ein Innenring (54), ein Außenring (52) sowie eine Ringscheibe (56') herausgebildet. Anschließend wird die Ringscheibe (56') zur Ausbildung von Statorschaufeln (56) und von die Statorschaufeln (56) haltenden Haltestegen (60,62) geschnitten und die Statorschaufeln (56) im Verhältnis zur Radialebene der Ringscheibe (56') angewinkelt. Durch die Kombination eines spanabhebenden IIerstellungsschrittes mit nicht-spanabhebenden Herstellungsschritten wird die Herstellung von Statorstufen, die verschiedene axiale Längen bzw. Stärken des Innenringes, des Außenringes sowie der Statorschaufeln aufweisen, vereinfacht und beschleunigt.
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