一种激光共聚焦显微系统

摘要

本发明提供一种激光共聚焦显微系统，包括显微成像部分和激光引入部分，显微成像部分具有第一光轴，激光引入部分具有第二光轴。第一光轴与第二光轴平行，于第二光轴上设置有第一反射镜，于第一光轴上设置有合束镜，第二光轴通过第一反射镜和合束镜与第一光轴汇合。显微成像部分第一光轴与第二光轴平行设置后，与现有技术的同轴设置相比，可以使激光共聚焦显微系统的光轴长度大大减短，并且可以使该系统的结构更加紧凑和稳定，从而提高微细加工的精度。

主权项

1、一种激光共聚焦显微系统，包括显微成像部分和激光引入部分，所述显微成像部分具有第一光轴，所述激光引入部分具有第二光轴，其特征在于：所述第一光轴与第二光轴平行，于所述第二光轴上设置有第一反射镜，于所述第一光轴上设置有合束镜，所述第二光轴通过所述第一反射镜和所述合束镜与所述第一光轴汇合。